半導体・液晶業界向け

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 MES

FACTORYworks


半導体製造ライン向けのMESパッケージ製品です。基本機能は全てパッケージ化されており、設定/登録だけでオフライン運用が可能になります。カスタマイズ部分を最小限に抑制できるため、開発/現調/保守/横展開にかかるコストを削減することができます。
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 セルコントローラ構築支援ツール

CELLworks


CIM自動化システム開発支援ツールです。工場におけるオペレーションを短期間にインテグレートすることができます。また、そのインテグレートしたモジュールを工場間・工程間で容易に再利用することが可能です。

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搬送監視
 

Transfer-BEAM


半導体製造工場の工程間搬送状況を様々な角度から参照することができるモニタリングシステムです。


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装置予防保全
 

Xsite


設備保全の自動化を支援するソフトです。装置ステートトラッキング、メンテナンス作業及び計画管理、装置故障分析をはじめ、メンテナンスパーツ管理、さらに生産管理システムとの連携を視野にいれた設備保全の自動化を支援します。
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装置接続
 

STATIONworks


PC上で動作する半導体/液晶装置−工場HOST間のSECS/GEMアプリケーション構築ツールで、専用エディタを用いることにより、コードレスでアプリケーションの開発が可能になります。

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WinSECS


PC上で動作する半導体/液晶装置−工場HOST間のSECS/GEMアプリケーション構築ツールで、装置組込み・工場HOSTの両方をサポートしております。

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GEM-BEAM


デバイスメーカーの運用シナリオをドラッグ アンド ドロップ方式で作成し、実行及び結果参照を一つの画面で容易に行うことができる、ホストシミュレーションシステムです。

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Grapheq


UNIX上で動作する半導体/液晶装置−工場HOST間のSECS/GEMアプリケーション構築ツールで、第4世代言語を用いて、容易にアプリケーション構築が可能になります。

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