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キーワード:仕掛り管理トラッキング Process Plan MES WIP Tracking Site Model

[製品のイメージ]

半導体製造ライン向けのMESパッケージ製品です。

はじめに

FACTORYworksはランタイム環境と統合された非常に使いやすいGUIツールをもつManufacturing Execution System (MES)です。製造オペレーションの状態をより見やすい形で提供することで、半導体製造ラインにおける歩留り向上、装置稼働率上昇の一助とすることができます。

すべてのFACTORYworksのコンポーネントはCIM Frameworkに準拠した統合アプリケーションです。柔軟性に富み、3層構造で、クライアント/サーバ型アーキテクチャであるFACTORYworksをご利用頂くことにより、Applied Materials社(旧Brooks Automations社)製品のみならず、サードパーティ製品とのインテグレーションが容易なため、使いやすい工場システムの提供が可能です。また、FACTORYworksは必要とされる機能がすでにインテグレートされているMESで、ショップフロアコントロールから装置接続までをサポートしているため、初期展開とメンテナンスが容易です。

ビジネスルールについて

FACTORYworksでは、ビジネスルールを使用して運用シナリオの設定が可能です。運用シナリオとは:

  • プロセスデータ収集

  • 作業指示書の表示

  • レシピのダウンロード

  • 特定製造工程で必要とされる作業など

適切なデータが、FACTORYworksフレームワーク内の様々なMESコンポーネント上を行き交います。工程フローに工場固有の工程内作業を割り付けることで、プロセスエンジニアは会社の製造/製品の今までの運用をシステムに反映させることができます。

製造工程における品質管理/バラツキ判断基準作成支援

FACTORYworksでは自動技術データ収集機能及びリアルタイム統計処理制御(Statistical Process Control: SPC)機能を提供します。プロセスエンジニアはどの技術データを製造中に収集するか定義することができます。工程フロー上の工程にデータ収集ビジネスルールを関連付けることで、いつ、どの装置から、どのプロセスパラメータを収集したのか特定することができます。これにより、製品の合否判定/工程処理可不可判断のために必要なデータをリアルタイムに監視することができます。

サードパーティ製品との融合性

FACTORYworksではMESにおけるランタイム機能を充実させるために、工場全体で利用できるPCに対してカスタマイズツールを提供しています。Microsoft ActiveXコントロールを利用して、Microsoft Officeを含むユーザインターフェイスをPCでご利用頂けます。例えば、工場長がラインのリアルタイムパフォーマンスデータをMicrosoft Excelスプレッドシートへ入力して参照したり、オペレータがロットステータスデータをダウンロードしてMicrosoft Wordレポートへ入力することができます。

開発元:APPLIED MATERIALS.

http://www.amat.com/


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