Grapheq お問い合わせ
キーワード: 装置接続 GEM SECS

UNIX上で動作する、半導体/液晶装置とのSECS/GEMアプリケーションを作成するための構築ツールです。また、開発形態は、第4世代フローチャート言語と呼ばれるものを使用し、より早く・簡単にアプリケーションの構築が可能になります。

メッセージ・プロセス

 

Grapheqの内部的なコミュニケーション(例えば、上位HOSTからの装置作業依頼や装置からのイベント報告など)は姉妹製品である CELLworks のMBXメッセージバスをベースにしていますので、すべてのコミュニケーションはイベントドリブン型の通信として扱われます。

 

SECSメッセージ

 

Grapheqは汎用的なSEMIスタンダードのメッセージテンプレートが既に用意してあり、開発時にはSECSに関係した様々な機能(可変のレングス、アイテム、リスト構造、ストリーム・ファンクションの定義など)は、穴埋め形式の コンフィグレーションベースで定義が出来ます。また、ユーザ定義のメッセージも定義可能です。更に、上位HOSTと装置との各メッセージの文法解析からメッセージ変換処理までをカバーしております。

 

装置定義

 

Grapheqでは、接続する装置をあらかじめ開発時に定義します。これは、接続する装置に関して、SECS-T/HSMSのパラメータ設定を行うということです。

 

アクションスケジュール定義

 

Grapheqで提供する第4世代フローチャート言語(イメージ図参照)では、それぞれのBoxに意味(SECSメッセージの送受信、VFEIメッセージの送受信、ロジック構築など)があり、そのタイミングに合ったBoxを配置し、また、メッセージ変換等のロジックをC--(Cマイナスマイナス)言語を使用して構築します。

対応プロトコル

  • SECSプロトコル

  • HSMSプロトコル

  • GEMプロトコル

  • VFEIプロトコル

  • Serialプロトコル

  • ファイル入出力

  • ユーザ定義プロトコル

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開発元:APPLIED MATERIALS.

http://www.amat.com/


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