STATIONworks お問い合わせ
キーワード: 装置オンライン構築ツール 装置接続 GEM SECS TOM Driver Cell Controller

PC上で動作する、半導体/液晶装置−工場HOST間のとのSECS/GEMアプリケーションを作成するための構築ツールです。また、開発形態は専用の開発ツールを使用することにより、 ソースコードレスでより早く・簡単にアプリケーションの構築が可能になります。また、Microsoft® Visual Basic®を使用しての開発も可能です。

装置オートメーションソリューションを速やかに展開していくためには、複数のソリューションを1つの構造の内部にまとめ上げ、アプリケーションを容易に再利用が可能であることが必要です。STATIONworksは標準の装置ドライバ、あらかじめ準備されたアプリケーション、半導体/液晶装置の自動化ソリューションの迅速な展開のために必要とされるコア・テクノロジを提供している唯一の製品です。これはまさに、今日において装置オートメーションソリューションを展開するための最速の方法であり、半導体/液晶工場の必需品です。

MESへのシームレスなインテグレーション 

STATIONworksはFACTORYworks を使用して、ユーザのプロセスと生産データを結び付けます。STATIONworksとFACTORYworks はまったく異なったアプリケーションですが、ソリューションフレームワークを共有しており、その結果データモデルを共有できるため、速やかにフルオートメーションソリューションを展開できます。このシームレスなインテグレーションはフルファクトリーシステムに必要なカスタムコードを大幅に減少させ、過去に例の無いほどの短期間でフルオートメーションを実現することができます。

装置ドライバ 

STATIONworksには、200機種以上もの装置ドライバのライブラリが含まれます。この装置ドライバはすべて無償でユーザへ提供され、ユーザ側の装置ドライバ作成コストの削減が 可能です。

アプリケーション開発ツール 

STATIONworksでは、専用のアプリケーション開発ツール(イメージ図参照)を持っており、これを使用することにより、アプリケーション開発者は、 ソースコードを書かずに、コンフィグレーションのみで半導体/液晶装置とのインテグレーションが可能になります。

対応プロトコル

  • SECS-Tプロトコル

  • HSMSプロトコル

  • SECS-Uプロトコル

  • GEMプロトコル

  • VFEIプロトコル

付属ツール

  • SECSライブラリエディタ

  • SECSシミュレータ/テスタ

  • その他サンプルアプリケーション 

画像をクリックすると拡大画像を見ることができます

開発元:APPLIED MATERIALS.

http://www.amat.com/


>> CIMシステム取り扱い製品一覧へ

<< 前の画面に戻る

このページの先頭へ

お問合せ先:

Eメール   :

TEL     :

CIM製品サポート

cim.info@tsl.co.jp

03-3342-2655