Transfer-BEAM お問い合わせ
キーワード: 搬送モニタリングシステム

概要

半導体製造工場の各工程で効率の良いプロセスが実現できても、搬送効率が悪ければ、その工場の生産性は向上されません。Transfer-BEAMは、搬送のボトルネックとなっている要因を究明するために、工程間の搬送状況をさまざまな角度から参照できる「搬送モニタリングシステム」です。

特長

  • 材料自動搬送状況が一目でわかります。

  • 材料搬送の負荷やストッカの負荷をリアルタイムに把握できます。

  • 処理材料の所在をリアルタイムに把握できます。

機能概要

  • 搬送状況モニタリング機能

  • 全搬送負荷状況機能

  • ストッカキャリア情報機能

  • 実搬送時間表示機能

  • ストッカ負荷状況機能

  • キャリア滞留情報機能

  • キャリア情報機能

開発元:(株)東京システム技研


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